由于许多单分子有机物质、低分子有机物质和热原病毒等，不能轻而易举地用传统的纯水制备方法除去。所以这类物质，特别是在超纯水制备中，尤其讨厌。反渗透技术的研制成功和应用，使经济而又稳定可靠的大型工业超纯水系统称为现实。反渗透-离子交换联合制备超纯水，已成为电子工业超纯水制造的主导工艺技术。随着世界范围内膜技术及纯水制备工艺的不断提高，二级反渗透系统也应用于电子工业超纯水系统中；超过滤技术已经在取代微孔过滤器，以取得更低的TOC指标和更小的颗粒要求；连续电去离子法的开发成功，使得15-18MΩcm超纯水站，无酸、碱化和系统直接连续供水称为可能。
常规的电子工业18MΩcm超纯水制备系统，该系统由预处理、反渗透、初级离子交换和精制备循环送水系统三大部分组成。根据原水水质、水型、系统规模大小和最终水质指标的要求，局部有些变化。对原水为地表水，规模较小的系统往往采用活性炭去除余氯，而对大系统则选用注入还原剂的方法；对原水为地下水，规模较小的系统，优先选用软化器去除钙、镁，以防止反渗透系统中碳酸盐类和硫酸盐的沉淀，而大型系统通常选用自动注入阻垢剂的 方法；初级离子交换工艺，则根据原水含盐量的高低和规模大小而定，对于原水电导率大于500μs/cm（25℃），往往选用复床系统，同时对于每小时数十吨的大型纯水站，也往往选择复床系统，以降低每吨纯水酸、碱耗量和采用复床系统给再生带来的简便；对于终端膜过滤器，通常可采用0.22μm的微孔过滤器，对于颗粒和TOC有特别要求的系统，则可选用切割分子量为10000-30000的超过滤装置。
